인물소개

한국과학기술원(KAIST) 플라즈마 박사이고, ㈜ 플라즈마트 연구소장, 한양대학교 공과대학 전기공학과 교수, University of Texas at Dallas 객원 교수 2008~2009, 삼성전자 생산기술 연구소 고문 2012~2013, 한국정보디스플레이 학회 장비연구회 회장2011~2015을 했다. 주요 연구 분야는 반도체 디스플레이 플라즈마 진단 모니터링, 플라즈마 소스 및 물성 연구이다.